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寺内 正己*; 高橋 秀之*; 飯田 信雄*; 村野 孝訓*; 小池 雅人; 河内 哲哉; 今園 孝志; 小枝 勝*; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; et al.
日本電子ニュース, 44, p.11 - 16, 2012/00
これまで透過型電子顕微鏡用に研究開発されてきた軟X線発光分光装置の分光エネルギー領域を拡張し、TEMだけでなくEPMA/SEMに搭載可能な軟X線発光分析システムの開発を行った。ここでは、50-200eV用に開発した回折格子JS50XLを用いた測定例として、単純金属のMg-L発光, Li-K発光, Al-L発光, Be-K発光を示す。これらのスペクトル強度分布は、価電子の状態密度分布とシャープなフェルミ端を明瞭に示した。また、半導体であるSiと金属であるTiSi
のSi-L発光スペクトルの比較、及び、CaB
とLaBのB-K発光スペクトルの比較を示す。
高橋 秀之*; 飯田 信雄*; 村野 孝訓*; 寺内 正己*; 小池 雅人; 河内 哲哉; 今園 孝志; 小枝 勝*; 長野 哲也*; 笹井 浩行*; et al.
日本電子ニュース, 44, p.50 - 54, 2012/00
これまで透過電子顕微鏡(TEM)用に開発されてきた軟X線分光器を電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)に搭載した。50-170eV程度までのエネルギー領域を同時に分光可能な不等間隔溝回折格子JS50XLを新たに開発し、背面照射型CCD検出器と組合せた。Al金属のAl-L発光では0.2eV以下の高いエネルギー分解能が得られ、明瞭なフェルミ端と電子状態密度を観察でき、微小領域での状態分析が可能となった。またX線カウントの照射電流に比例して高計数が得られるWDSの特長も有するため、EPMAの大照射電流の特長を生かし、従来のEPMAよりもさらに微量検出にも有効となった。微量ホウ素分析には不等間隔溝回折格子JS200N(分光エネルギー範囲: 70-210eV)を作製し、検量線定量法により、10ppmレベルの鉄鋼中超軽元素分析も可能となった。CCDの採用でパラレル検出が可能となり、試料上のピクセルごとにスペクトルを保存するスペクトルマップの取得も可能とした。この結果、マイクロメータレベルから10cm角程度の実試料に関して、化学結合状態を反映した分布をとらえることも可能となった。
中嶋 悟
日本電子ニュース, 27(1-2), p.12 - 17, 1987/02
天然の岩石の構成物質である鉱物については、X線マイクロアナライザーによって数
mオーダーでの元素分布が知られるようになったが、今後は、これらの元素がどのような状態で存在するかについての情報も必要とされる。その1つの分析法として、鉱物の顕微赤外分光法は、非破壊で鉱物の微小領域の結晶構造や水の存在状態、多原子価元素の価数等の情報が得られ、鉱物の生成条件や2次的変化などの推定に有効である。フーリエ変換型顕微赤外分光計を用いて、天然の鉱物の20m領域での状態分析を試みた。岩石の割れ目(水みち)周辺での鉱物の水和現象などの研究は、岩石中での物質移動に関与した水の役割を明らかにできよう。また、地層中に存在する微量天然有機物のキャラクタリゼーションは、酸化還元条件に敏感な元素の還元による固定を調べる上で重要である。これらの研究は、顕微赤外分光法で可能となろう。